2022 年5月 14 日，由中国物理学会静电专业委员会、中国力学学会等离子体科学与技术专委会和中国电子仪器行业协会防静电装备分会共同主办的2022年“研在五月”线上论坛—静电与等离子体清洗技术专题论坛圆满召开。本次论坛聚焦静电与等离子体清洗技术，特邀多位静电和等离子体技术的典型行业应用专家和学者分享见解，旨在促进静电及等离子体应用领域专家和学生对当下热点问题的学术交流。

本期线上论坛由大连理工大学姜楠副教授和苏州天华超净科技股份有限公司研发总监王荣刚博士召集。论坛特邀中国科学院国家空间科学中心夏清博士、大连理工大学姜楠副教授、天马微电子有限公司屈林超高工、上海恩可埃认证有限公司徐彬老师、拓荆科技股份有限公司张赛谦经理和中国航天科技集团五院514所袁亚飞总工等专家作专题报告。

上午9点，会议准时开始。首先，由中国物理学会静电专业委员会副主任委员、北京理工大学欧阳吉庭教授做开幕致辞。欧阳教授指出随着技术发展迭代，器件的精密化制程趋势不可逆转，需要有良好的ESD防护和微污染控制手段方可保证其持续性。中国物理学会静电专业委员会牵头各兄弟学会共同主办此活动，是希望搭建一个连接产业界和学术界的平台，为技术进步和产业赋能做出贡献。

在专家报告环节，6位专家先后以“月表静电环境研究”、“低温等离子体去除气液颗粒媒质中有机污染技术”、“显示面板制造plasma应用”、“从审核角度看ESD S20.20审核的修订”、“等离子体清洗在半导体薄膜沉积中的应用”和“防静电仪器的评价、选择”为主题作了精彩的报告。论坛共吸引了351位高校、研究院所、企业的科研人员参加，取得了良好的反响。

最后，中国物理学会静电专业委员会副主任委员、秘书长、大连理工大学李杰教授对此次线上论坛做了总结，对6位专家的精彩分享表示感谢，对与会的听众表示感谢。希望在大家共同努力下，搭建好学术届与产业界的桥梁，促进技术进步，共话技术，发展明天。